stdClass Object
(
[nazev] => Ústav anorganické chemie VŠCHT Praha
[adresa_url] =>
[api_hash] =>
[seo_desc] =>
[jazyk] =>
[jednojazycny] =>
[barva] =>
[indexace] => 1
[obrazek] =>
[ga_force] =>
[cookie_force] =>
[secureredirect] =>
[google_verification] => UOa3DCAUaJJ2C3MuUhI9eR1T9ZNzenZfHPQN4wupOE8
[ga_account] => UA-10822215-3
[ga_domain] =>
[ga4_account] => G-VKDBFLKL51
[gtm_id] =>
[gt_code] =>
[kontrola_pred] =>
[omezeni] =>
[pozadi1] => 0009~~cy6qLC5JzCmOd0zJT0oNLslPzo43NLI0sTA1NLTQLU9NAgA.jpg
[pozadi2] => 0004~~S87PyS_STS6qLC5JzCk2BAA.jpg
[pozadi3] => 0006~~y81PSc2p1C0uKSrNLikt0i1PTQIA.jpg
[pozadi4] => 0008~~c0zJT0oNLslPzo43NTC2NDM1MjbRLU9NAgA.jpg
[pozadi5] =>
[robots] =>
[htmlheaders] =>
[newurl_domain] => 'uach.vscht.cz'
[newurl_jazyk] => 'cs'
[newurl_akce] => '[cs]'
[newurl_iduzel] =>
[newurl_path] => 8548/25669/25670
[newurl_path_link] => Odkaz na newurlCMS
[iduzel] => 25670
[platne_od] => 31.10.2023 17:08:00
[zmeneno_cas] => 31.10.2023 17:08:01.775111
[zmeneno_uzivatel_jmeno] => Jan Kříž
[canonical_url] =>
[idvazba] => 32577
[cms_time] => 1713571842
[skupina_www] => Array
(
)
[slovnik] => stdClass Object
(
[logo_href] => /
[logo] => 
[logo_mobile_href] => /
[logo_mobile] =>
[google_search] => 001523547858480163194:u-cbn29rzve
[social_fb_odkaz] =>
[social_tw_odkaz] =>
[intranet_odkaz] => http://intranet.vscht.cz/
[intranet_text] => Intranet
[mobile_over_nadpis_menu] => Menu
[mobile_over_nadpis_search] => Hledání
[mobile_over_nadpis_jazyky] => Jazyky
[mobile_over_nadpis_login] => Přihlášení
[menu_home] => Domovská stránka
[aktualizovano] => Aktualizováno
[autor] => Autor
[paticka_mapa_odkaz] => Zobrazit mapu
[paticka_budova_a_nadpis] => BUDOVA A
[paticka_budova_a_popis] => Rektorát, oddělení komunikace, pedagogické oddělení, děkanát FCHT, centrum informačních služeb
[paticka_budova_b_nadpis] => BUDOVA B
[paticka_budova_b_popis] => Věda a výzkum, děkanát FTOP, děkanát FPBT, děkanát FCHI, výpočetní centrum, zahraniční oddělení, kvestor
[paticka_budova_c_nadpis] => BUDOVA C
[paticka_budova_c_popis] => Dětský koutek Zkumavka, praktický lékař, katedra ekonomiky a managementu, ústav matematiky
[paticka_budova_1_nadpis] => NÁRODNÍ TECHNICKÁ KNIHOVNA
[paticka_budova_2_nadpis] => STUDENTSKÁ KAVÁRNA CARBON
[paticka_budova_2_popis] =>
[paticka_adresa] => VŠCHT Praha
Technická 5
166 28 Praha 6 – Dejvice
IČO: 60461373
DIČ: CZ60461373
Datová schránka: sp4j9ch
Copyright VŠCHT Praha 2014
Za informace odpovídá Oddělení komunikace, technický správce Výpočetní centrum
[paticka_odkaz_mail] => mailto:Ondrej.Muller@vscht.cz
[zobraz_desktop_verzi] => zobrazit plnou verzi
[social_fb_title] =>
[social_yt_title] =>
[drobecky] => Nacházíte se: VŠCHT Praha – FCHT – Ústav anorganické chemie
[stahnout] => Stáhnout
[zobraz_mobilni_verzi] => zobrazit mobilní verzi
[social_yt_odkaz] =>
[paticka_budova_1_popis] =>
[social_tw_title] =>
[more_info] => více informací
[den_kratky_2] => út
[novinky_kategorie_1] => Akce VŠCHT Praha
[novinky_kategorie_2] => Důležité termíny
[novinky_kategorie_3] => Studentské akce
[novinky_kategorie_4] => Zábava
[novinky_kategorie_5] => Věda
[novinky_archiv_url] => /novinky
[novinky_servis_archiv_rok] => Archiv z roku
[novinky_servis_nadpis] => Nastavení novinek
[novinky_dalsi] => zobrazit další novinky
[novinky_archiv] => Archiv novinek
[archiv_novinek] => Archiv novinek
[den_kratky_6] => so
[den_kratky_3] => st
[den_kratky_0] => ne
[nepodporovany_prohlizec] => Ve Vašem prohlížeči se nemusí vše zobrazit správně. Pro lepší zážitek použijte jiný.
[den_kratky_1] => po
[preloader] => Prosím čekejte...
[zobrazit_kalendar] => zobrazit kalendář
[zobrazit_vice_kalendar] => více zde →
[hledani_nadpis] => hledání
[hledani_nenalezeno] => Nenalezeno...
[hledani_vyhledat_google] => vyhledat pomocí Google
[den_kratky_4] =>
[den_kratky_5] =>
[social_in_odkaz] =>
[social_li_odkaz] =>
)
[poduzel] => stdClass Object
(
[25672] => stdClass Object
(
[obsah] =>
[poduzel] => stdClass Object
(
[25678] => stdClass Object
(
[obsah] =>
[iduzel] => 25678
[canonical_url] => //uach.vscht.cz
[skupina_www] => Array
(
)
[url] =>
[sablona] => stdClass Object
(
[class] =>
[html] =>
[css] =>
[js] =>
[autonomni] =>
)
)
[25677] => stdClass Object
(
[obsah] =>
[iduzel] => 25677
[canonical_url] => //uach.vscht.cz
[skupina_www] => Array
(
)
[url] =>
[sablona] => stdClass Object
(
[class] =>
[html] =>
[css] =>
[js] =>
[autonomni] =>
)
)
[25676] => stdClass Object
(
[obsah] =>
[iduzel] => 25676
[canonical_url] => //uach.vscht.cz
[skupina_www] => Array
(
)
[url] =>
[sablona] => stdClass Object
(
[class] =>
[html] =>
[css] =>
[js] =>
[autonomni] =>
)
)
)
[iduzel] => 25672
[canonical_url] =>
[skupina_www] => Array
(
)
[url] =>
[sablona] => stdClass Object
(
[class] =>
[html] =>
[css] =>
[js] =>
[autonomni] =>
)
)
[25673] => stdClass Object
(
[obsah] =>
[poduzel] => stdClass Object
(
[25679] => stdClass Object
(
[nazev] => Ústav anorganické chemie
[seo_title] => Ústav anorganické chemie VŠCHT Praha
[seo_desc] =>
[autor] => ÚACH
[autor_email] =>
[obsah] => Novinky ve formě boxů.
[iduzel] => 25679
[canonical_url] =>
[skupina_www] => Array
(
)
[url] => /home
[sablona] => stdClass Object
(
[class] => stranka_novinky
[html] =>
[css] =>
[js] =>
[autonomni] => 1
)
)
[73595] => stdClass Object
(
[nazev] => SoferGroup
[seo_title] => SoferGroup
[seo_desc] =>
[autor] =>
[autor_email] =>
[obsah] =>
[urlnadstranka] =>
[ogobrazek] =>
[pozadi] =>
[iduzel] => 73595
[canonical_url] =>
[skupina_www] => Array
(
)
[url] => /sofergroup
[sablona] => stdClass Object
(
[class] => boxy
[html] =>
[css] =>
[js] => $(function() {
setInterval(function () { $('*[data-countdown]').each(function() { CountDownIt('#'+$(this).attr("id")); }); },1000);
setInterval(function () { $('.homebox_slider:not(.stop)').each(function () { slide($(this),true); }); },5000);
});
function CountDownIt(selector) {
var el=$(selector);foo = new Date;
var unixtime = el.attr('data-countdown')*1-parseInt(foo.getTime() / 1000); if(unixtime<0) unixtime=0;
var dnu = 1*parseInt(unixtime / (3600*24)); unixtime=unixtime-(dnu*(3600*24));
var hodin = 1*parseInt(unixtime / (3600)); unixtime=unixtime-(hodin*(3600));
var minut = 1*parseInt(unixtime / (60)); unixtime=unixtime-(minut*(60));
if(unixtime<10) {unixtime='0'+unixtime;}
if(dnu<10) {unixtime='0'+dnu;}
if(hodin<10) {unixtime='0'+hodin;}
if(minut<10) {unixtime='0'+minut;}
el.html(dnu+':'+hodin+':'+minut+':'+unixtime);
}
function slide(el,vlevo) {
if(el.length<1) return false; var leva=el.find('.content').position().left; var sirka=el.width(); var pocet=el.find('.content .homebox').length-1;
var cislo=leva/sirka*-1; if(vlevo) { if(cislo+1>pocet) cislo=0; else cislo++; } else { if(cislo==0) cislo=pocet-1; else cislo--; }
el.find('.content').animate({'left':-1*cislo*sirka});
el.find('.slider_puntiky a').removeClass('selected');
el.find('.slider_puntiky a.puntik'+cislo).addClass('selected');
return false;
}
function slideTo(el,cislo) {
if(el.length<1) return false; var sirka=el.width(); var pocet=el.find('.content .homebox').length-1; if(cislo<0 || cislo>pocet) return false;
el.find('.content').animate({'left':-1*cislo*sirka});
el.find('.slider_puntiky a').removeClass('selected');
el.find('.slider_puntiky a.puntik'+cislo).addClass('selected');
return false;
}
[autonomni] => 1
)
)
[25765] => stdClass Object
(
[nazev] => O ústavu
[seo_title] => O ústavu
[seo_desc] =>
[autor] =>
[autor_email] =>
[perex] =>
[ikona] =>
[obrazek] => S60oSS3KTC0yNAIA.jpg
[obsah] => Dnešní Ústav anorganické chemie (před rokem 1989 Katedra anorganické chemie) vznikl po osamostatnění VŠCHT v roce 1952 a zajišťoval výuku předmětu Anorganická chemie a Laboratorní cvičení z anorganické chemie.
Ve vědecko-výzkumné činnosti se pod vedením prof. F. Petrů systematicky zabýval chemií skandia a vzácných zemin. Odborným růstem vědeckých a pedagogických pracovníků ústavu došlo k postupně tematické diferenciaci a vytvoření několika dalších pracovních týmů, zejména po roce 1975, kdy se Ústav podílel na vypracování koncepce nového studijného oboru Chemická technologie kovových a speciálních anorganických materiálů a stal se školícím pracovištěm PGS v oboru anorganické chemie.
Vědeckovýzkumná činnost byla zaměřena na výzkum struktury pevných látek a studium vztahu mezi strukturou a fyzikálně-chemickými vlastnostmi, na výzkum syntézy a aplikací některých anorganických materiálů, zejména tvrdých a abrazivních látek, supravodičů, nekrystalických materiálů, pigmentů a luminoforů, jakož i na výzkum struktury a vlastností koordinačních sloučenin.
V současné době představují významný výzkumný potenciál pracovní skupiny zaměřené na biokoordinační chemii, vysokoteplotní supravodiče, syntetické tvrdé látky, výzkum interakce látek v nízkoteplotním plazmatu a optoelektronické materiály. Především v těchto oborech, které mají podporu z domácích i zahraničních grantových agentur, jsou vypsána témata pro PGS.
[iduzel] => 25765
[canonical_url] => //uach.vscht.cz/o-ustavu
[skupina_www] => Array
(
)
[url] => /o-ustavu
[sablona] => stdClass Object
(
[class] => stranka_obrazek
[html] =>
[css] =>
[js] =>
[autonomni] => 1
)
)
[25766] => stdClass Object
(
[nazev] => Výuka
[seo_title] => Výuka
[seo_desc] =>
[autor] => -
[autor_email] =>
[obsah] =>
| E-learning |
| Portál anorganické chemie |
| Interaktivní výukové aplikace |
Studium v zahraničí
Nabídka zahraničních diplmových a dizertačních prací
[iduzel] => 25766 [canonical_url] => [skupina_www] => Array ( ) [url] => /vyuka [sablona] => stdClass Object ( [class] => stranka_galerie [html] => [css] => [js] => [autonomni] => 1 ) ) [25767] => stdClass Object ( [nazev] => Výzkum [seo_title] => Výzkum [seo_desc] => [autor] => [autor_email] => [obsah] => [iduzel] => 25767 [canonical_url] => //uach.vscht.cz/vyzkum [skupina_www] => Array ( ) [url] => /vyzkum [sablona] => stdClass Object ( [class] => boxy [html] => [css] => [js] => $(function() { setInterval(function () { $('*[data-countdown]').each(function() { CountDownIt('#'+$(this).attr("id")); }); },1000); setInterval(function () { $('.homebox_slider:not(.stop)').each(function () { slide($(this),true); }); },5000); }); function CountDownIt(selector) { var el=$(selector);foo = new Date; var unixtime = el.attr('data-countdown')*1-parseInt(foo.getTime() / 1000); if(unixtime<0) unixtime=0; var dnu = 1*parseInt(unixtime / (3600*24)); unixtime=unixtime-(dnu*(3600*24)); var hodin = 1*parseInt(unixtime / (3600)); unixtime=unixtime-(hodin*(3600)); var minut = 1*parseInt(unixtime / (60)); unixtime=unixtime-(minut*(60)); if(unixtime<10) {unixtime='0'+unixtime;} if(dnu<10) {unixtime='0'+dnu;} if(hodin<10) {unixtime='0'+hodin;} if(minut<10) {unixtime='0'+minut;} el.html(dnu+':'+hodin+':'+minut+':'+unixtime); } function slide(el,vlevo) { if(el.length<1) return false; var leva=el.find('.content').position().left; var sirka=el.width(); var pocet=el.find('.content .homebox').length-1; var cislo=leva/sirka*-1; if(vlevo) { if(cislo+1>pocet) cislo=0; else cislo++; } else { if(cislo==0) cislo=pocet-1; else cislo--; } el.find('.content').animate({'left':-1*cislo*sirka}); el.find('.slider_puntiky a').removeClass('selected'); el.find('.slider_puntiky a.puntik'+cislo).addClass('selected'); return false; } function slideTo(el,cislo) { if(el.length<1) return false; var sirka=el.width(); var pocet=el.find('.content .homebox').length-1; if(cislo<0 || cislo>pocet) return false; el.find('.content').animate({'left':-1*cislo*sirka}); el.find('.slider_puntiky a').removeClass('selected'); el.find('.slider_puntiky a.puntik'+cislo).addClass('selected'); return false; } [autonomni] => 1 ) ) [25768] => stdClass Object ( [nazev] => Vybavení [seo_title] => Vybavení [seo_desc] => [autor] => [autor_email] => [obsah] => [iduzel] => 25768 [canonical_url] => //uach.vscht.cz/vybaveni [skupina_www] => Array ( ) [url] => /vybaveni [sablona] => stdClass Object ( [class] => boxy [html] => [css] => [js] => $(function() { setInterval(function () { $('*[data-countdown]').each(function() { CountDownIt('#'+$(this).attr("id")); }); },1000); setInterval(function () { $('.homebox_slider:not(.stop)').each(function () { slide($(this),true); }); },5000); }); function CountDownIt(selector) { var el=$(selector);foo = new Date; var unixtime = el.attr('data-countdown')*1-parseInt(foo.getTime() / 1000); if(unixtime<0) unixtime=0; var dnu = 1*parseInt(unixtime / (3600*24)); unixtime=unixtime-(dnu*(3600*24)); var hodin = 1*parseInt(unixtime / (3600)); unixtime=unixtime-(hodin*(3600)); var minut = 1*parseInt(unixtime / (60)); unixtime=unixtime-(minut*(60)); if(unixtime<10) {unixtime='0'+unixtime;} if(dnu<10) {unixtime='0'+dnu;} if(hodin<10) {unixtime='0'+hodin;} if(minut<10) {unixtime='0'+minut;} el.html(dnu+':'+hodin+':'+minut+':'+unixtime); } function slide(el,vlevo) { if(el.length<1) return false; var leva=el.find('.content').position().left; var sirka=el.width(); var pocet=el.find('.content .homebox').length-1; var cislo=leva/sirka*-1; if(vlevo) { if(cislo+1>pocet) cislo=0; else cislo++; } else { if(cislo==0) cislo=pocet-1; else cislo--; } el.find('.content').animate({'left':-1*cislo*sirka}); el.find('.slider_puntiky a').removeClass('selected'); el.find('.slider_puntiky a.puntik'+cislo).addClass('selected'); return false; } function slideTo(el,cislo) { if(el.length<1) return false; var sirka=el.width(); var pocet=el.find('.content .homebox').length-1; if(cislo<0 || cislo>pocet) return false; el.find('.content').animate({'left':-1*cislo*sirka}); el.find('.slider_puntiky a').removeClass('selected'); el.find('.slider_puntiky a.puntik'+cislo).addClass('selected'); return false; } [autonomni] => 1 ) ) [10947] => stdClass Object ( [nazev] => Přístup odepřen (chyba 403) [seo_title] => Přístup odepřen [seo_desc] => Chyba 403 [autor] => [autor_email] => [perex] => [ikona] => zamek [obrazek] => [ogobrazek] => [pozadi] => [obsah] =>Nemáte přístup k obsahu stránky.
Zkontrolujte, zda jste v síti VŠCHT Praha, nebo se přihlaste (v pravém horním rohu stránek).
[urlnadstranka] => [iduzel] => 10947 [canonical_url] => [skupina_www] => Array ( ) [url] => /[error403] [sablona] => stdClass Object ( [class] => stranka_ikona [html] => [css] => [js] => [autonomni] => 1 ) ) [1485] => stdClass Object ( [nazev] => Stránka nenalezena [seo_title] => Stránka nenalezena (chyba 404) [seo_desc] => Chyba 404 [autor] => [autor_email] => [obsah] =>Chyba 404
Požadovaná stránka se na webu (již) nenachází. Kontaktuje prosím webmastera a upozorněte jej na chybu.
Pokud jste změnili jazyk stránek, je možné, že požadovaná stránka v překladu neexistuje. Pro pokračování prosím klikněte na home.
Děkujeme!
[urlnadstranka] => [ogobrazek] => [pozadi] => [iduzel] => 1485 [canonical_url] => [skupina_www] => Array ( ) [url] => /[error404] [sablona] => stdClass Object ( [class] => stranka [html] => [css] => [js] => [autonomni] => 1 ) ) ) [iduzel] => 25673 [canonical_url] => [skupina_www] => Array ( ) [url] => [sablona] => stdClass Object ( [class] => [html] => [css] => [js] => [autonomni] => ) ) [519] => stdClass Object ( [nadpis] => [data] => [poduzel] => stdClass Object ( [61411] => stdClass Object ( [nadpis] => [apiurl] => https://studuj-api.cis.vscht.cz/cms/?weburl=/sis [urlwildcard] => cis-path [iduzel] => 61411 [canonical_url] => [skupina_www] => Array ( ) [url] => /sis [sablona] => stdClass Object ( [class] => api_html [html] => [css] => [js] => [autonomni] => 1 ) ) ) [iduzel] => 519 [canonical_url] => [skupina_www] => Array ( ) [url] => [sablona] => stdClass Object ( [class] => [html] => [css] => [js] => [autonomni] => ) ) ) [sablona] => stdClass Object ( [class] => web [html] => [css] => [js] => [autonomni] => 1 ) [api_suffix] => )DATA
stdClass Object
(
[nazev] => Technologie
[seo_title] => Technologie
[seo_desc] =>
[autor] =>
[autor_email] =>
[obsah] => - Technologie nanášení tenkých vrstev z roztoku
- spin-coating & dip-coating
- Laboratoř uhlíkových nanomateriálů
- Laboratoř keramických materiálů
- Laboratoř materiálů pro fotoniku
- Laboratoř MO-CVD
- depozice oxidových a nitridových tenkých vrstev
- Pomocná zařízení
Technologie nanášení tenkých vrstev z roztoku
Spin-coating
Metoda spin-coating slouží pro přípravu tenkých vrstev o tloušťce v řádech nanometrů až mikrometrů na rovinné substráty. Vrstvy se nanáší z těkavých roztoků či suspenzí. Metoda nachází široké uplatnění jak v laboratorní tak v průmyslové sféře. Vlastní princip spočívá v nanesení malého množství roztoku do středu horizontálně uchyceného substrátu a jeho následné rotace až na několik tisíc otáček za minutu. Odstředivé síly způsobí, že se roztok rovnoměrně rozprostře po celém povrchu substrátu, přičemž přebytek roztoku odtéká přes jeho okraj. Takto dojde k vytvoření tenké vrstvy nebo vrstev v případě opakovaného nanášení... (více)
Dip-coating
Dip-coating je metoda, která umožňuje přípravu tenké vrstvy na obou stranách substrátu najednou. Princip metody spočívá ve vertikálním ponoření substrátu do roztoku na určitou dobu. Poté se substrát s definovanou rychlostí vynořuje, přičemž přebytečný roztok stéká zpátky do nádoby a odpařuje se nadbytek rozpouštědla. Čím je roztok víc smáčivý, tím tenčí vrstvu zanechává na povrchu substrátu. Při nanášení může dojít k tzv. klínovému efektu, což je nesouměrnost v tloušťce vrstvy na spodní a vrchní části substrátu. Nanesená vrstva se dále tepelně zpracovává. Metoda dip-coating se vyznačuje svojí finanční nenáročností a jednoduchostí přípravy vrstev... (více)
Laboratoř uhlíkových nanomateriálů
Zařízení pro depozici uhlíkových nanomateriálů metodou CVD
CVD Reaktor je vybaven odporově vyhřívaným horizontálním křemenným reaktorem. Zařízení je využíváno pro přípravu uhlíkových nanotrubiček a grafenových vrstev. Depozice uhlíkových nanotrubiček je prováděna pomocí kovových katalyzátorů. Depozice grafenu je prováděna na kovových substrátech (Cu.Ni) v křemenném nosiči.
Popis zařízení
- Depozice je možné provádět při teplotách do 1200 °C a v rozsahu tlaků od 10 Pa do 100 kPa
- Plyny jsou do reaktoru dávkovány pomocí hmotových průtokoměrů (vodík, metan, amoniak, argon, dusík)
- Zařízení je možné doplnit diferenčně čerpaným mechanickým manipulátorem pro řízenou manipulaci se vzorkem uvnitř horké zóny reaktoru
Zařízení pro syntézu grafenu termickým rozkladem prekurzorů
Reaktor pro syntézu grafitu exfoliací jeho prekurzorů (oxid grafitu) je vybaven magnetickým manipulátorem pro rychlou manipulaci se vzorkem uvnitř horké zóny reaktoru. Exfoliaci je možné provádět ve vakuu nebo řízené atmosféře.
Popis zařízení
- Křemenný horizontální reaktor vybavený magnetickým manipulátorem
- Možnost ohřevu vzorku do teploty 1100 °C
- Exfoliace v řízené atmosféře (vodík, dusík, amoniak, kyslík, chlor)
- Možnost práce v rozsahu tlaků 0,01–1 bar
Laboratoř keramických materiálů
Laboratoř je vybavena základním technologickým vybavením pro přípravu oxidové i neoxidové keramiky. Popis základního vybavení laboratoře:
- Trubkové pece pro syntézy ve vakuu a řízené atmosféře do teploty 1450 °C
- Muflové pece pro syntézy v pevné fázi a růst krystalů z tavenin do teploty 1750 °C
- Planetární mlýn a ultrazvukový homogenizátor
- Zařízení spin-coating a dip-coating pro přípravu tenkých vrstev z roztoků nebo gelových prekurzorů (více)
- Hydraulický lis a lisovací formy, nástavec pro izostatické lisování
- Sol-gel technologie pro přípravu rozotků a gelů na nášení (coatings), pevných (nano)prekurzorů a nanočástic.
Laboratoř materiálů pro fotoniku
Popis základního vybavení laboratoře
- Zařízení pro přípravu optických vlnovodů
- Zařízení pro přípravu optických vlnovodů v elektrickém poli
- Zařízení na řezání a leštění substrátů
Laboratoř MO-CVD
Zařízení pro depozici oxidových vrstev
Laboratoř disponuje zařízením pro přípravu tenkých vrstev oxidových materiálů metodou MO-CVD (depozice epitaxních vrstev z plynné fáze s využitím organokovových prekurzorů). Zařízení využíváno pro depozici vrstev vysokoteplotních supravodičů na bázi Bi-Sr-Ca-Cu-O a manganitých oxidových perovskitů (systém La-Sr-Mn-O a Bi-Sr-Ca-Mn-O), ZnO (dopovaného magnetickými příměsemi) a NiO.
Popis zařízení
- Horizontální indukčně vyhřívaný křemenný reaktor. Substráty se umísťují na inconelový nosič
- Kapalné prekurzory jsou do reaktoru dávkovány hmotovým průtokoměrem a ultrazvukovým rozprašovačem
- Reaktor je vybaven předehřevem vstupujících prekurzorů pro jejich zplynění
- Prekurzory jsou používány zejména v podobě b-diketonátů a alkoholátů
- Jako nosný plyn je používána směs argonu, dusíku a kyslíku regulovaná pomocích hmotových průtokoměrů
- Tlak v reaktoru je stabilizován v rozsahu 0,01–1 bar
Zařízení pro depozici nitridových vrstev
Zařízení je určeno pro přípravu epitaxních vrstev AIIIN nitridů depozicí z organokovových prekurzorů a amoniaku. Depozice je prováděna v horizontálním křemenném reaktoru vybaveném indukčním ohřevem. Zařízení je využíváno zejména pro přípravu epitaxních vrstev GaN dotovaných Mn pro aplikace ve spintronice.
Popis zařízení
- Horizontální křemenný reaktor s Mo susceptorem
- Prekurzory prvků v podobě trimethylgallia, trimethylhliníku, trimethylindia a bis(methylcyklopentadienyl) manganu jsou umístěny v nerezových sytičích. Množství prekurzoru dávkované do reaktoru je řízeno teplotou prekurzoru, tlakem a průtokem nosného plynu.
- Jako prekurzor dusíku je používán amoniak a pro dotovaní vrstev silan. Nosné plyny (dusík, vodík) jsou dávkovány pomocí hmotnostních průtokoměrů
- Depoziční reaktor je vybaven zdrojem suchého vakua a stabilizací tlaku v rozsahu 50 – 1000 mbar
Pomocná zařízení
Glovebox pro práci v inertní atmosféře
Glovebox (rukavicový box) s argonovou atmosférou slouží pro základní laboratorní operace v inertní atmosféře, obsahuje velmi nízké koncentrace kyslíku a vody do 0,1 ppm, které jsou monitorovány on-line (viz display vpravo). Díky tomu je možné dlouhodobě pracovat s chemikáliemi, které jsou na vzduchu nestálé (např. oxidují či jsou hygroskopické).
Glovebox je vybaven analytickými váhami, hydraulickým lisem, dále také magnetickou míchačkou s ohřevem a vakuovou pumpou pro provádění základních chemických operací. K zavádění předmětů do rukavicového boxu slouží dvě komory (na obrázku vpravo) o různých průměrech. Box je vybaven tlakovým čidlem, které reaguje na změny vnějšího tlaku (např. při navlékání rukavic) a podle nastavení reguluje tlak uvnitř prostoru.
Laminární box pro manipulaci v bezprašném prostředí
Laminární box (neboli Flowbox) je laboratorní zařízení, které filtruje vzduch pomocí mikrofiltrů a HEPA filtrů a nabízí tak možnost pracovat ve sterilním a bezprašném prostředí. Flowboxu využíváme například při čištění pevných substrátů a přípravě čistých tenkých vrstev.
