Prosím čekejte...
Nepřihlášený uživatel
Nacházíte se: VŠCHT PrahaFCHTÚstav anorganické chemie  → Výzkum → Polovodiče a nanomateriály → Výzkum
iduzel: 29282
idvazba: 37292
šablona: stranka
čas: 26.9.2017 20:02:52
verze: 3813
uzivatel:
remoteAPIs:
branch: trunk
Obnovit | RAW

Výzkum

Příprava a charakterizace tenkých epitaxních vrstev polovodičů GaN, ZnO, AlN, InN.
Syntéza grafenu a derivátů grafenu.

Technologie přípravy tenkých vrstev

Zabýváme se přípravou polovodivých materiálů v podobě tenkých vrstev. Stručný popis použité technologie.

  • Jedná se o epitaxní depozice z plynné fáze organokovových prekurzorů (MOVPE - Metal Organic Vapour Phase Epitaxy) na vyhřívaném monokrystalickém substrátu
  • Vstupní látky (prekurzory) jsou použity zpravidla organokovy In, Ga, Al (např. Ga(CH3)3), plynný NH3 jako zdroj dusíku
  • Aparatura: Vysokofrekvenčně vyhřívaný křemenný reaktor
  • Reakční podmínky depozice: teplota 600–1200 °C, tlak 0,01–10 kPa, nosné plyny: vysoce čistý N2, H2

Teorie

V rámci přípravy polovodivých materiálů se zabýváme.

  • Termodynamické modelování procesu MOVPE
  • Výpočty elektronové struktury (DFT, LAPW), kohezní energie z prvních principů (ab-initio)

Charakterizace přiravených materiálů

Připravené tentké vrstvy (příp. bulkové materiály) charakterizujeme pomocí následujících analytických metod.

  • Morfologie: optická a elektronová skenovací elektronová mikroskopie (SEM), mikroskopie atomárních sil (AFM)
  • Struktura: rentgenová difrakční analýza (včetně asymetrického scanu Omega-Q)
  • Chemické složení a čistota: AEM, XPS, ISS, SIMS
  • Elektrický transport: typ vodivosti, pohyblivost, koncentrace nositelů náboje (rezistivita, Hallova konstanta)
  • Optické vlastnosti: transmitance, fotoluminiscence, reflektance (tloušťka vrstev), index lomu, vlnový útlum

Aplikace: Elektronika a optoelektronika

Připravené tenké vrstvy mají řadu praktických využití v elektronice či optoelektronice.

  • Planární vlnovody
  • Světelné zdroje pro optické sdělovací sytémy (v oblasti 0,8–1,5 mm)
  • Krátkovlnné lasery a svítivé diody LED
  • Výkonové a vysokofrekvenční elektronické prvky
  • Magneticky dopovane polovodiče (spintronika)
Aktualizováno: 23.9.2016 12:21, Autor: Lenka Matějová

VŠCHT Praha
Technická 5
166 28 Praha 6 – Dejvice
IČO: 60461373
DIČ: CZ60461373

Datová schránka: sp4j9ch

Copyright VŠCHT Praha 2014
Za informace odpovídá Oddělení komunikace, technický správce Výpočetní centrum
zobrazit plnou verzi